学院现有教职工234人，其中专任教师201人；教授（正高）81人，副教授（副高）54人，具有博士学位201人，专任教师博士比例达94%；博导94人，硕导103人。

教师队伍中，中国工程院院士、“国家高层次人才支持计划”入选者、国家“海外高层次人才引进计划”获得者、国家何梁何利奖获得者、中国真空学会真空科技成就奖获得者、全国百篇优博论文奖入选者各类优秀人才100余人次。形成了以院士、“国家高层次人才支持计划”等学术带头人，和具有较强创新能力和较大发展潜力的中青年人才为骨干的比较合理的队伍结构。